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等离子与反应离子刻蚀终点的在线监测——光学反射法
叙述了用光学反射法在线监测LSI等离子及反应离子刻蚀过程和终点的监测原理与具体实施,所设计的仪器获得了优于80A的动态监测精度及小于0.3cm^2的......
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